Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы
Жанры:
Читать онлайн:
Вам понравится:
Описание:
Книга автора Аскер Кушхов. Относится к жанрам: . Объем: 142 стр.. Дата написания: 2007. Возрастное ограничение: 0+.
Вы можете в один клик скачать книгу ‘Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы’ в форматах fb2, ePub, txt без регистрации. Или же, выбирая подходящий Вам вариант, читать онлайн ‘Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы’ на нашем сайте. Здесь Вы легко сможете выбрать нужную книгу в соответствии со своими предпочтениями.
Если Вы ещё не определились с выбором, то посмотрите разделы «Рейтингов» и «Обзоров книг» нашего сайта, там сможете подобрать книгу или серию книг, которые Вам обязательно понравятся.
Аннотация:
В нем рассматриваются основы физики взаимодействия ускоренных низкоэнергетических ионов с твердым телом, практические возможности использования эффектов ионного воздействия для получения и травления микро- и наноразмерных пленочных гетерокомпозиций. Приводится методика расчета параметров различных технологических ионно-плазменных процессов обработки тонких пленок и покрытий. Дается методика определения экспериментальных параметров процессов осаждения и травления на реальных промышленных установках.
Реклама. ООО ЛИТРЕС, ИНН 7719571260, erid: 2VfnxyNkZrY

